5 апреля 2022, 11:00Резидент технопарка «Полюс» представил инновационную установку плазменной обработки материалов
Оборудование может использоваться во многих высокотехнологичных областях, включая фотонику, интегральную оптику, биомедицину.
Удалять загрязнения, модифицировать или активировать (повышать химическую активность) поверхности высокотехнологичных изделий, не повреждая их, — такие задачи призвана решать разработка резидента технопарка «Полюс».
Новинка представляет собой установку, в рабочей камере которой находится два электрода. Между ними под напряжением в среде разреженного газа формируется плазма. Состояние поверхностного слоя изделий, которые оказываются в установке, под воздействием плазмы меняется. При этом свойства материалов, из которых они выполнены, не нарушаются.
Процесс происходит так: в плазме генерируются ионы (заряженные частицы) инертного газа (аргона) или химически активного газа (кислорода), которые взаимодействуют с атомами поверхностного слоя изделия. В зависимости от типа генератора ионы плазмы могут иметь разную концентрацию и энергию, а значит, способны по-разному воздействовать на обрабатываемую поверхность.
Высокоэнергичные ионы и высокая температура могут разрушать некоторые устройства и структуры. Чтобы обработать поверхности таких изделий без повреждения и нагрева, необходимо снизить энергию ионов и одновременно увеличить их количество.
«Инновационность нашей установки в том, что для производства плазмы мы используем разработанный нами двуполярный импульсный генератор. Он создает короткие и частые импульсы, что позволяет увеличить концентрацию ионов. Дополнительно в промежутках между импульсами на электроды подается относительно невысокое отрицательное напряжение для придания ионам минимально необходимой для обработки энергии. Это обеспечивает бережную и эффективную обработку чувствительных полупроводниковых и квантовых структур без повышения температуры изделия», — рассказал Денис Васильев, ведущий инженер компании-разработчика GN electronics.
Температура в рабочей камере установки благодаря новому способу генерации плазмы снижается до 50 градусов по Цельсию. Это существенно расширяет возможности плазменной обработки. Инновационное оборудование может использоваться во многих высокотехнологичных областях, включая фотонику, интегральную оптику, плазмонику, микрофлюидику, биомедицину и другие, где требуется предварительная обработка изделий перед дальнейшими технологическими операциями. Установка, например, позволяет аккуратно очищать от органических загрязнений изделия из керамики (изоляторы, цилиндры, трубки), которые применяются в микроэлектронной промышленности, или производить процесс травления металлизированных плат, то есть удалять оксидный слой с их поверхности. А финишная обработка изделий в плазме готовит их к нанесению различных покрытий и способствует повышению прочности сцепления.
Идея создания такого оборудования появилась при совместной работе сотрудников МГТУ имени Н.Э. Баумана и компании-разработчика в 2021 году. Коллаборация позволила компании пройти конкурсный отбор и получить статус резидента инновационного центра «Сколково».
По словам Дениса Васильева, разработка не имеет мировых аналогов и в настоящее время находится на стадии испытаний.
«Мы нацелены активно демонстрировать ее преимущество для увеличения спроса как на российском рынке, так и за рубежом», — подчеркнул он.
Компания-разработчик инновационной установки плазменной обработки материалов является резидентом технопарка «Полюс» уже более пяти лет.
«Статус резидента позволяет получать преференции и меры поддержки для развития нашей компании. К наиболее актуальным для нас можно отнести гранты на участие в профильных выставках, компенсации части затрат на приобретение оборудования, субсидии на создание нового продукта, а также налоговые льготы», — отметил коммерческий директор компании Иван Воробьев.
Технопарк «Полюс», расположенный на юго-западе Москвы, является крупнейшим в стране научно-производственным центром в области квантовой электроники. Площадь его помещений составляет 74,5 тысячи квадратных метров. Резиденты технопарка — 42 компании, которые занимаются разработкой и производством лазерных и оптических изделий, в том числе лазерных дальномеров, гироскопов, датчиков систем наземных измерений ракетно-космических комплексов, волоконно-оптических систем, а также медицинского оборудования.
«За 2021 год можно смело отметить высокие экономические показатели резидентов технопарка “Полюс”. Так, за прошлый год в технопарке появилось два новых якорных резидента — ЗАО “НПФ “Доломант” и АО “Центр ВОСПИ”. Всего в Москве на текущий момент насчитывается 17 якорных резидентов. Все они являются компаниями-флагманами своих технопарков», — рассказал руководитель Департамента предпринимательства и инновационного развития города Москвы Алексей Фурсин.
В технопарке «Полюс» есть вся необходимая инфраструктура для разработки и внедрения инновационных решений. В том числе современные лаборатории, центры прототипирования и аддитивных технологий, инжиниринговый и сертификационный центры.
